| 发明名称 |
Treating of surfaces of semiconductor elements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3313661(A) |
申请公布日期 |
1967.04.11 |
| 申请号 |
US19650461583 |
申请日期 |
1965.05.14 |
| 申请人 |
DICKSON ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
DICKSON BETTY ANN |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/225;H01L23/29;H01L23/485 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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