发明名称 |
用于抗光蚀剂的新的单体,单体聚合物及其抗光蚀剂组合物 |
摘要 |
本发明涉及用于制备抗光蚀剂聚合物的新的单体,抗光蚀剂聚合物及其抗光蚀剂组合物。本发明的单体由上列化学式1所表示。 |
申请公布号 |
CN1250778A |
申请公布日期 |
2000.04.19 |
申请号 |
CN99118358.4 |
申请日期 |
1999.08.26 |
申请人 |
现代电子产业株式会社 |
发明人 |
郑载昌;卢致亨;郑旼镐;孔根圭;李根守;白基镐 |
分类号 |
C07D495/08;C07D493/08;C07D495/22;C07D493/22;C08F234/00;G03F7/039;G03F7/00;H01L21/02;H01L21/31;//(C07D495/08,333:00,333:00) |
主分类号 |
C07D495/08 |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
王达佐;王维玉 |
主权项 |
1.一种下列化学式1表示的抗光蚀剂单体:<img file="A9911835800021.GIF" wi="220" he="240" />化学式1其中,X和Y各自代表氧,硫,CH<sub>2</sub>或CH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>;n代表0~5的整数;R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>各自代表氢,其主链或支链上带有取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>烷基,其主链或支链上带有取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>酯,其主链或支链上带有取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>酮,其主链或支链上带有取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>羧酸,其主链或支链上带有取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>缩醛,其主链或支链上带有包括一个或多个羟基取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>烷基,其主链或支链上带有包括一个或多个羟基取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>酯,其主链或支链上带有包括一个或多个羟基取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>酮,其主链或支链上带有包括一个或多个羟基取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>羧酸,或其主链或支链上带有包括一个或多个羟基取代基的C<sub>1</sub>~C<sub>10</sub>缩醛;其条件是R<sub>1</sub>~R<sub>4</sub>的至少一个代表-COO-R′-OH,其中R′为在其直链或支链上带有取代基的直链或支链烷基。 |
地址 |
韩国京畿道 |