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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Unschaedlichmachen von Fremdstoffteilchen durch Kurzzeitbelichtung aus elektrisch und/oder magnetisch arbeitenden Elektrodensystemen
摘要
申请公布号
DE1238576(B)
申请公布日期
1967.04.13
申请号
DE196500S7064
申请日期
1965.05.12
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
GROMBACH DIPL.-ING. HERBERT;MEIER DR. HEINZ
分类号
H01J9/38;H01J37/32
主分类号
H01J9/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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