蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机,镀膜室由两部分组成,一部分是固定不动的共用体,另一部分是可以开合移动的前门,两个前门的分别装入旋转磁控柱状弧源,利用柱弧源产生的冷场致弧光放电过程使被镀靶材蒸发,离化进行离子镀膜。两个前门一开一合,轮换与固定体扣合进行镀膜,整机结构简单、操作简便、镀膜均匀区大、成本低廉。适用于表面镀膜和离子渗金属技术,尤其适于镀氮化钛涂层。

主权项

1.一种蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机，镀膜机的镀膜室由两部分组成，一部分是固定不动的共用体(1)，它与真空机组(2)相联，另一部分是可以开合移动的主体，也叫前门(3)、(4)，两个前门的顶部分别装入旋转磁控柱状弧源(5)、(6)，而且分别安装工件转架(7)、(8)，烘烤加热源(9)、(10)，进气系统(11)、(12)，引弧针(13)、(14)，其特点是利用两个镀膜室中央安装的旋转磁控柱状弧源产生的冷场致弧光放电过程使被镀靶材蒸发、离化，进行离子镀膜，蚌式双室的两个可开合移动的前门轮换与固定体扣合进行镀膜。