发明名称 Procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur
摘要
申请公布号 FR1478042(A) 申请公布日期 1967.04.21
申请号 FR19660059624 申请日期 1966.04.29
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C23C8/00;H01L21/762 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
主权项
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