发明名称 Method for forming semiconductor device isolation regions
摘要
申请公布号 EP0443879(B1) 申请公布日期 2000.04.19
申请号 EP19910301459 申请日期 1991.02.22
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAWAMURA, AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/308;H01L21/31;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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