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发明名称 EXCIMER LASER WITH MAGNETIC BEARINGS SUPPORTING FAN
摘要
申请公布号 EP0993692(A1) 申请公布日期 2000.04.19
申请号 EP19980931615 申请日期 1998.06.26
申请人 CYMER, INC. 发明人 SARKAR, KAMAL;UJAZDOWSKI, RICHARD, C.;DAS, PALASH, P.;LARSON, DONALD, G.
分类号 F04D25/08;F04D29/04;F04D29/056;F04D29/058;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/041;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/036 主分类号 F04D25/08
代理机构 代理人
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