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发明名称 A method for processing perfluorocarbon and an apparatus therefor
摘要
申请公布号 SG71863(A1) 申请公布日期 2000.04.18
申请号 SG19980004403 申请日期 1998.11.02
申请人 HITACHI ENGINEERING CO., LTD.;HITACHI KYOWA ENGINEERING CO., LTD.;HITACHI, LTD. 发明人 SHIN TAMATA;KAZUYOSHI IRIE;TOSHIMIRO MORI;HISAO YOKOYAMA;TAKAYUKI TOMIYAMA;TOSHIHIDE TAKANO;SHUICHI KANNO
分类号 B01D53/86;(IPC1-7):B01D53/86;B01D53/70 主分类号 B01D53/86
代理机构 代理人
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