| 发明名称 |
Process for preparing nitride film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG71846(A1) |
申请公布日期 |
2000.04.18 |
| 申请号 |
SG19980003816 |
申请日期 |
1998.09.24 |
| 申请人 |
JAPAN PIONICS CO., LTD. |
发明人 |
TAKAMATSU YUKICHI;YONEYAMA TAKEO;ISHIHAMA YOSHIYASU |
| 分类号 |
C23C16/34;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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