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发明名称 Solution treatment apparatus
摘要
申请公布号 SG71809(A1) 申请公布日期 2000.04.18
申请号 SG19980001531 申请日期 1998.06.26
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKEKUMA TAKASHI
分类号 B05B1/20;B05C5/00;B05C11/02;B05C11/08;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B05B1/20
代理机构 代理人
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