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发明名称 Method of forming a silicide layer using metallic impurites and pre-amorphization
摘要
申请公布号 SG71814(A1) 申请公布日期 2000.04.18
申请号 SG19980001577 申请日期 1998.07.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 KITTL, JORGE, A.;HONG QI-ZHONG
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/336;H01L21/4763;H01L29/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/476 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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