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发明名称
Integrated circuit dielectric and method
摘要
申请公布号
SG71794(A1)
申请公布日期
2000.04.18
申请号
SG19980001232
申请日期
1998.05.28
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
发明人
LEE WEI WILLIAM;LIST, RICHARD, S.;JIN CHANGMING;TAYLOR, KELLY, J.;LU JIONG-PING;RUSSELL, STEPHEN, W.;HAVEMANN, ROBERT, H.
分类号
H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/522
主分类号
H01L23/522
代理机构
代理人
主权项
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