| 发明名称 |
Purge system and purge joint |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US6050287(A) |
申请公布日期 |
2000.04.18 |
| 申请号 |
US19980102756 |
申请日期 |
1998.06.23 |
| 申请人 |
CKD CORPORATION |
发明人 |
GOSHIMA, KENICHI;SUDO, YOSHIHISA |
| 分类号 |
F16L19/00;B01J4/00;B08B9/032;C23C16/44;F16L19/02;F17C13/04;F17D1/02;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):B08B9/02 |
主分类号 |
F16L19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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