发明名称
摘要
申请公布号 JP3034531(B2) 申请公布日期 2000.04.17
申请号 JP19890062701 申请日期 1989.03.15
申请人 发明人
分类号 H01L27/08;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
地址