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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100254093(B1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19970046441 申请日期 1997.09.09
申请人 NEC CORPORATION 发明人 ITOH, SINYA
分类号 H01L21/28;H01L21/3115;H01L21/314;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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