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发明名称 APPARATUS FOR CLEANSING QUARTZ TUBE
摘要
申请公布号 KR200177268(Y1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19970014180U 申请日期 1997.06.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KANG, JUN-JIN;LEE, KYO-SUNG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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