| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SPRAY ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100251034(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19947001453 |
申请日期 |
1994.05.02 |
| 申请人 |
ATOTECH USA INC. |
发明人 |
KETELHOHN, KARL F.G.;BALL, DONALD F. |
| 分类号 |
C23F1/08;H01L21/00;H05K3/06;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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