发明名称 |
NOZZLE HOLDER FOR SEMICONDUCTOR WAFER COATER |
摘要 |
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申请公布号 |
KR200177328(Y1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
申请号 |
KR19970033774U |
申请日期 |
1997.11.25 |
申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
YOO, SEUNG SEOK |
分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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