| 发明名称 |
INTERNAL SAFETY APPARATUS OF SPUTTERING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR200177309(Y1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19970027961U |
申请日期 |
1997.10.09 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
BAE, KYOUNG-HWAN |
| 分类号 |
H01L21/48;H02H1/00;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
H01L21/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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