发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100254005(B1) 申请公布日期 2000.04.15
申请号 KR19920013416 申请日期 1992.07.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 GOTO, SHIGEO;MATSUMOTO, HIDETOSHI;YAZAWA, MASAMITSU;UMEMOTO, YASUNARI;UCHIDA, YOKO;HIRUMA, KENJI
分类号 H01L29/45;(IPC1-7):H01L29/812;H01L21/338;H01L29/788 主分类号 H01L29/45
代理机构 代理人
主权项
地址