INTEGRATED DELIVERY MODULE FOR VAPOR FROM NON-GASEOUS SOURCES FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING,申请号KR19937003619-传众专利搜索

发明名称	INTEGRATED DELIVERY MODULE FOR VAPOR FROM NON-GASEOUS SOURCES FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号	KR100253612(B1)	申请公布日期	2000.04.15
申请号	KR19937003619	申请日期	1993.11.26
申请人	STAUFFER, CRAIG M.	发明人	STAUFFER, CRAIG M.
分类号	B01J4/00;B01J4/02;B01J7/00;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;F17C7/02;F17C7/04;F17C13/04;G03F7/38;(IPC1-7):C23C16/46	主分类号	B01J4/00
代理机构		代理人
主权项
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