| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100252374(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19967005680 |
申请日期 |
1996.10.10 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
TAKAHASHI, MAKOTO;TAKECHI, SATOSHI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/32;G03F7/029 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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