发明名称 |
Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
摘要 |
Das Verfahren dient zur Herstellung beispielsweise eines Drucksensors. Es wird zunächst eine erste Trägerschicht 1 mit einer das Messelement bildenden Schicht 3 versehen. Die das Messelement bildende Schicht 3 wird mit einer einen Abstand bildenden Schicht 4 überdeckt, die mindestens im Bereich des Messelementes eine Aussparung 5 aufweist. Dann wird eine zweite Trägerschicht 7 mit der den Abstand bildenden Schicht 4 verbunden, wonach die erste Trägerschicht 1 zur Bildung einer Membran ausgedünnt wird. |
申请公布号 |
DE19845537(A1) |
申请公布日期 |
2000.04.13 |
申请号 |
DE1998145537 |
申请日期 |
1998.10.02 |
申请人 |
GRUNDFOS A/S, BJERRINGBRO |
发明人 |
ERIKSEN, GERT FRIIS |
分类号 |
G01L9/06;G01L9/12;H01L21/58;H01L29/84;H01L49/00 |
主分类号 |
G01L9/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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