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发明名称 STATISCHES MEGASCHALLREINIGUNGSSYSTEM ZUM REINIGEN VON GEGENSTÄNDEN
摘要
申请公布号 DE69423356(D1) 申请公布日期 2000.04.13
申请号 DE1994623356 申请日期 1994.07.13
申请人 CFMT, INC. 发明人 THOMAS, K.;CAROLIN, A.;ERHARDT, S.;MCCONNELL, F.
分类号 B08B3/12;B05B17/06;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
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