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发明名称 METHOD FOR FOCUSING DURING IMAGING OF STRUCTURED SURFACES OF DISC-SHAPED OBJECTS
摘要
申请公布号 EP0991934(A1) 申请公布日期 2000.04.12
申请号 EP19980937407 申请日期 1998.06.24
申请人 LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH 发明人 GRAEF, MICHAEL;GRAF, UWE;WIENECKE, JOACHIM;HOFFMANN, GUENTER;FRANKE, KARL-HEINZ;JAKOB, LUTZ
分类号 G01N21/956;G01N21/88;G01N21/95;G02B7/28;G02B21/24;H01L21/66;H04N5/225;H04N5/232;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
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