发明名称 GATED PHOTOCATHODE FOR CONTROLLED SINGLE AND MULTIPLE ELECTRON BEAM EMISSION
摘要
申请公布号 EP0992053(A2) 申请公布日期 2000.04.12
申请号 EP19990913886 申请日期 1999.03.16
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 LEE, KIM, Y.;CHANG, TAI-HON, PHILIP;MANKOS, MARIAN;BERGLUND, C., NEIL
分类号 H01J9/12;G03F7/20;H01J1/34;H01J37/063;H01J37/073;(IPC1-7):H01J1/00 主分类号 H01J9/12
代理机构 代理人
主权项
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