| 发明名称 |
Process for rejuvenation treatment of photoresist development waste |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2332957(B) |
申请公布日期 |
2000.04.12 |
| 申请号 |
GB19980026135 |
申请日期 |
1998.11.27 |
| 申请人 |
* ORGANO CORPORATION |
发明人 |
HIROSHI * SUGAWARA;HIROMI * HENMI |
| 分类号 |
B01D15/08;B01D61/02;B01D61/04;B01D61/08;B01D61/14;B01D61/16;B01D61/18;B01D61/58;B01J39/04;B01J41/04;C02F1/04;C02F1/26;C02F1/42;C02F1/44;C02F1/461;C02F1/469;C02F1/58;C02F9/00;G03F7/30;G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/30 |
主分类号 |
B01D15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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