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发明名称 CHARGED-PARTICLE SOURCE, CONTROL SYSTEM, AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP0992057(A1) 申请公布日期 2000.04.12
申请号 EP19980930440 申请日期 1998.06.22
申请人 VEECO INSTRUMENTS INC. 发明人 FREMGEN, ROGER, P., JR.;JACOB, JOHN;HAYES, ALAN, V.;KANAROV, VICTOR;OSTAN, EDWARD, W.;NAVY, ABRAHAM, J.;LAKIOS, EMMANUEL, N.;TREYGER, GENRIKH
分类号 H01J27/02;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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