质量传感器和质量感测方法

摘要

一种质量传感器包括:一个连接平板,其上具有一个或多个切口和/或开口区,和/或其上具有薄壁区域和厚壁区域一个膜片,在侧面与连接平板彼此相连;一个压电元件;一个传感平板,在传感平板的至少一个表面上的至少一部分上提供有压电元件,在与膜片和连接平板的连接方向垂直的方向上传感平板的侧面与连接平板的相对方彼此相连;和一个传感器基片,与连接平板以及传感平板的侧面的至少一部分相连;并且膜片、连接平板、传感平板和压电元件形成谐振区。这种质量传感器适宜用于通过测量其上施加有只与被测目标(被测物质)发生反应的用于吸收被测物质的吸收物的膜片的质量变化引起的谐振频率的变化来确定物质的质量。

主权项

1、一种质量传感器，包括：一个连接平板，其上具有一个或多个切口和/或开口区，和/或其上具有薄壁区域和厚壁区域；一个膜片，在侧面与连接平板彼此相连；一个传感平板，在传感平板的至少一个表面上的至少一部分上提供有压电元件，在与所说膜片和所说连接平板的连接方向垂直的方向上所说传感平板的侧面与所说连接平板的相对方彼此相连；和一个传感器基片，与所说连接平板以及所说传感平板的侧面的至少一部分相连；其中所说膜片，所说连接平板，所说传感平板和所说压电元件形成谐振区。