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发明名称 Ionenimplantationsgerät und -verfahren sowie Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69515285(D1) 申请公布日期 2000.04.06
申请号 DE19956015285 申请日期 1995.11.13
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 FUJII, ATSUHIRO
分类号 H01J37/317;H01J27/24;H01J37/08;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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