| 发明名称 |
Plasmastrahl-Erzeugungsverfahren und Vorrichtung die einen Hochleistungsplasmastrahl erzeugen Kann |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69421157(T2) |
申请公布日期 |
2000.04.06 |
| 申请号 |
DE19946021157T |
申请日期 |
1994.12.20 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
TANAKA, MASARU |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/54;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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