| 发明名称 |
Verfahren zur Analyse von Oberflächenverunreinigungen in einem sehr kleinen Bereich |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19681191(C2) |
申请公布日期 |
2000.04.06 |
| 申请号 |
DE19961081191 |
申请日期 |
1996.11.21 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP. |
发明人 |
TABUSE, KAZUHIKO;WATANABE, MASAO |
| 分类号 |
G01N23/225;H01J37/252;(IPC1-7):G01N23/225;G01N23/227;G01N27/62;H01H1/60;H01J37/256 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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