| 摘要 |
<p>Ein Verfahren dient zur Beschichtung von Oberflächen mit Diamant aus der Gasphase. Dabei wird die zu beschichtende Oberfläche zunächst in einer Atmosphäre aus Wassertoff und einem Kohlenwasserstoff bei erhöhter Temperatur in einer Hochfrequenz-Entladung vorbehandelt. Anschliessend erfolgt dann die Beschichtung durch Abscheidung von Diamant aus der Gasphase. Durch diese Vorbehandlung wird eine sehr hohe Diamantkeimdichte auch auf elektrisch isolierenden Substraten erzielt.</p> |
