CALIBRATING A DEPTH SENSOR OF A LASER-PROCESSING DEVICE AND PRODUCING A DIE LAYER BY LAYER USING VARIABLE PROGRAMMING

摘要

Bei einem Verfahren zur Tiefenmessung werden die Tiefen von Messpunkten auf einer Eichfläche gemessen, und Korrekturwerte nach Massgabe von Unterschieden zwischen den Messwerten und bekannten Werten und zur späteren Korrektur verwendet und gespeichert. Bei einem Verfahren zur schichtweisen Herstellung eines Gesenks wurden die horizontalen Grenzen (xg, yg) für den Abtrag in einer Schicht (Si+1) nach Massgabe der Gesenktiefe (z) aus der Formdefinition des Gesenks ermittelt. Die Messwerte können fortlaufend gespeichert und zu späteren Ansteuerung der Laserbearbeitungsvorrichtung verwendet werden.