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发明名称 Dual damascene process
摘要
申请公布号 GB2340302(A8) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 GB19980016548 申请日期 1998.07.29
申请人 UNITED MICROELECTRONICS CORP. 发明人 MENG-JIN TSAI
分类号 H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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