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发明名称 VERY NARROW BAND LASER
摘要
申请公布号 EP0990286(A1) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 EP19980921237 申请日期 1998.05.14
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER, I.
分类号 H01S3/223;G03F7/20;H01S3/08;H01S3/098;H01S3/1055;H01S3/137;H01S3/139;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/223 主分类号 H01S3/223
代理机构 代理人
主权项
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