LIQUID ETCH ENDPOINT DETECTION AND PROCESS METROLOGY,申请号EP19980930351-传众专利搜索

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发明名称	LIQUID ETCH ENDPOINT DETECTION AND PROCESS METROLOGY
摘要
申请公布号	EP0990253(A2)	申请公布日期	2000.04.05
申请号	EP19980930351	申请日期	1998.06.17
申请人	LUXTRON CORPORATION	发明人	GOLZARIAN, REZA, MATTHEW
分类号	G01B11/06;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	G01B11/06
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