| 摘要 |
Beschrieben ist ein mikromechanischer Sensor zur Messung von Auslenkungen aufweisend mindestens einen MOSFET mit Gate-(G), Drain-(D), Source-(S) und Kanal-(K)-Bereichen, wobei das Gate beweglich angeordnet ist, welcher dadurch gekennzeichnet ist, daß das Gate (G) in eine Richtung (P) parallel zur Substratoberfläche (9) beweglich ist und die Bewegung des Gates in diese Richtung zu einer Vergrößerung oder Verkleinerung des vom Gate überlappten Kanalbereichs in mindestens einem MOSFET führt. Ferner betrifft die Erfindung die Verwendung des vorstehend genannten mikromechanischen Sensors in Mikrofonen, Drucksensoren, Beschleunigungssensoren oder Kraftsensoren. <IMAGE>
|
