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发明名称
Die carrier with balance block for uniform force delivery to the die
摘要
申请公布号
EP0990163(A1)
申请公布日期
2000.04.05
申请号
EP19970924660
申请日期
1997.05.12
申请人
AEHR TEST SYSTEMS
发明人
FOO, SEE-HACK;POSEDEL, RHEA;LAPE, LARRY;WRENN, JAMES;WANG, ERNIE;BURKE, PAUL;BUCK, CARL
分类号
H01L21/673;G01R1/04;G01R31/02;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/04
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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