发明名称 |
DRY-ETCHING OF INDIUM AND TIN OXYDES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0990270(A1) |
申请公布日期 |
2000.04.05 |
申请号 |
EP19980930507 |
申请日期 |
1998.06.23 |
申请人 |
APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
CHEN, JIE;WONG, YUEN-KUI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L31/18;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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