发明名称 DRY-ETCHING OF INDIUM AND TIN OXYDES
摘要
申请公布号 EP0990270(A1) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 EP19980930507 申请日期 1998.06.23
申请人 APPLIED KOMATSU TECHNOLOGY, INC. 发明人 CHEN, JIE;WONG, YUEN-KUI
分类号 H01L21/302;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L31/18;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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