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发明名称 Micropolarimeter and Ellipsometer
摘要
申请公布号 EP0987537(A3) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 EP19990116996 申请日期 1999.08.28
申请人 NANOPHOTONICS AG 发明人 ABRAHAM, MICHAEL, DR.;EBERHARDT, MATTHIAS, DR.
分类号 G01J4/04;G01N21/21;G02B5/18;G02B5/30;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
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