氮化膜的制造方法

摘要

公开一种用化学汽相淀积法制造氮化膜的方法,其中所用氮源材料气毒性较小,有足够高的汽化压力,能在较低温度分解,因而能制成高质量薄膜,生长温度降低,提高了生长速度。用包含以叔－丁基联氨为氮源主要成分的材料气与有机金属化合物,金属卤化物或金属氢化物的材料气反应在衬底上制成氮化膜。而且可用包含叔－丁基联氨作为氮源主要成份的材料气使包含金属或金属氧化物的衬底表面氮化而制造氮化膜。

主权项

1、一种用化学汽相淀积法制造氮化膜的方法，包括以含叔-丁基联氮作为氮源主要成份的材料气与有机金属化合物，金属卤化物或金属氢化物的材料气反应而在衬底上淀积氮化膜的工艺步骤。