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发明名称 Wafer edge polishing
摘要
申请公布号 GB2342060(A) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 GB19990014215 申请日期 1999.06.17
申请人 * UNOVA U.K. LIMITED 发明人 MARK ANDREW * STOCKER
分类号 B24B7/22;B24B9/00;B24B9/06;B24B29/00;B24B37/02;B24B49/16;B24B51/00;B24B53/00;B24B55/04;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
主权项
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