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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SUPPLYING SEVERAL WORKING GASES, AND ITS APPLICATION TO AN INSTALLATION FOR ASSEMBLING ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP0989899(A1) 申请公布日期 2000.04.05
申请号 EP19980922860 申请日期 1998.04.24
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR 发明人 VERBOCKHAVEN, DENIS;BONET, CLAUDE;SINDZINGRE, THIERRY
分类号 B23K31/02;B01D53/22;B01D53/75;B01D53/86;B01J19/14;C01B13/02;H05K3/34;(IPC1-7):B01D53/22 主分类号 B23K31/02
代理机构 代理人
主权项
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