发明名称 Werkwijze voor het verhinderen van corrosie na etsen van een film van aluminium of aluminiumlegering.
摘要
申请公布号 NL193618(C) 申请公布日期 2000.04.04
申请号 NL19970000010 申请日期 1997.09.25
申请人 FAIRCHILD CAMERA AND INSTRUMENT CORPORATION 发明人 CHRISTOPHER GALFO;ASHOK NALAMWAR
分类号 C23F4/00;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F11/02;C23F1/20 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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