发明名称
摘要
申请公布号 JP3028972(B2) 申请公布日期 2000.04.04
申请号 JP19910155157 申请日期 1991.05.31
申请人 发明人
分类号 C23C18/30;C23C18/31;C23C18/44;C23C18/50;(IPC1-7):C23C18/31 主分类号 C23C18/30
代理机构 代理人
主权项
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