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发明名称 Low temperature formation of backside ohmic contacts for vertical devices
摘要
申请公布号 AU6391699(A) 申请公布日期 2000.04.03
申请号 AU19990063916 申请日期 1999.09.16
申请人 CREE RESEARCH, INC. 发明人 DAVID B. SLATER JR.
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L29/12;H01L29/78;H01L33/00;H01S5/042;H01S5/323 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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