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发明名称
摘要
申请公布号 JP3028076(B2) 申请公布日期 2000.04.04
申请号 JP19970143123 申请日期 1997.05.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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