| 主权项 |
1.一种单结晶提拉装置,系针对具备:在一边旋转一边被提拉之单结晶中,形成倒圆锥状之卡合段部之线式主提拉手段;及经由卡合构件来把持此单结晶之卡合段部的保持机构;及使此保持机构升降之线式辅助提拉手段的单结晶提拉装置,其特征为:前述辅助提拉手段,系经由保持机构之倾斜防止手段来使保持机构升降,且使前述保持机构与前述主提拉手段之提拉速度同一步调地上升。2.如申请专利范围第1项之单结晶提拉装置,其中将上述主提拉手段、辅助提拉手段之一方的驱动马达设成速度控制方式,而将另一方之驱动马达设成张力控制方式。3.一种单结晶提拉装置,系针对具备:在一边旋转一边被提拉之单结晶中,形成倒圆锥状之卡合段部之主提拉手段;及经由卡合构件来把持此单结晶之卡合段部的保持机构;及使此保持机构与前述主提拉手段之提拉速度同一步调升降之辅助提拉手段的单结晶提拉装置,其特征为:前述之保持机构,设置能配合单结晶之卡合段部的形状,且藉由连杆或夹持杆的作用而具有自动夹持机能之卡合构件。4.如申请专利范围第3项之单结晶提拉装置,其中上述卡合构件之卡合面,形成多数个齿状或是波状的突起物。5.如申请专利范围第3项或第4项之单结晶提拉装置,其中上述主提拉手段和辅助提拉手段,藉由线之卷上、卷下,能够独立地升降;而且,辅助提拉手段经由保持机构之倾斜防止手段来使保持机构升降。6.如申请专利范围第3项或第4项之单结晶提拉装置,其中上述主提拉手段和辅助提拉手段,系藉由螺栓之旋转作用而独立地升降。7.一种单结晶提拉装置,系针对具备:在一边旋转一边被提拉之单结晶中,形成倒圆锥状之卡合段部之主提拉手段;及把持此单结晶之保持机构;及使此保持机构与前述主提拉手段之提拉速度同一步调地上升之辅助提拉手段的单结晶提拉装置,其特征为:在前述保持机构中,设置随着此升降而在规定之升降位置处,上下移动之推杆;及藉由此推杆之上升动作而旋转,来卡合把持前述单结晶之卡合段部的卡合构件。8.如申请专利范围第7项之单结晶提拉装置,其中上述主提拉手段和辅助提拉手段,藉由线之卷上、卷下,能够独立地升降;而且,辅助提拉手段经由保持机构之倾斜防止手段来使保持机构升降。9.如申请专利范围第7项之单结晶提拉装置,其中上述主提拉手段和辅助提拉手段,系藉由螺栓之旋转作用而独立地升降。10.一种单结晶提拉装置,系针对具备:一边使被支持在种结晶夹持具上的单结晶旋转一边提拉,来形成倒圆锥状之卡合段部的提拉手段;及经由卡合构件来把持此单结晶之卡合段部的保持机构;及收容这些机构之金属室的单结晶提拉装置,其特征为:前述种结晶夹持具,具有随着单结晶之育成而延伸之构造,而且,前述保持机构,以卡合构件来把持单结晶之卡合段部后,与种结晶夹持具同一步调地一边旋转一边被提拉。11.如申请专利范围第10项之单结晶提拉装置,其中上述种结晶夹持具之上部夹持具和下部夹持具,具有能够互相滑动之构造,而在其内部,内藏有弹簧。12.如申请专利范围第10项之单结晶提拉装置,其中在上述保持机构之朝下的外周面上,配置磁石55;而在与此相对之金属室之朝上的内周面上,也配置磁石,形成保持机构为磁力浮上之构造。13.如申请专利范围第10项之单结晶提拉装置,其中,在上述保持机构中,设置藉由连杆或夹持杆之作用而具有自动夹持机能的卡合构件。图式简单说明:第一图系说明第1提拉装置之全体构成的一例之纵剖面图。第二图系第一图及后述之第九图之由A-A箭头方向来看之保持机构以及均衡装置之横剖面图。第三图之(a)-(c),系说明设置在第一图所示第1提拉装置之保持机构中的卡合构件之构造图;(a)为全体构成图,(b)和(c)为部分详细图。第四图系说明本发明之提拉装置的提拉驱动马达之控制方式说明图。第五图系此提拉装置之保持机构的负担重量之变化图。第六图系说明第1提拉装置之其他构成例的纵剖面图。第七图系说明设置在第六图及后述之第十二图所示之设置在提拉装置之保持机构中的卡合构件之说明图。第八图系说明第1提拉装置之全体构成的另一例之说明图。第九图系说明第2提拉装置之全体构成例的纵剖面图。第十图系说明第九图之由B-B箭头方向来看之设置在保持机构中的卡合构件之平面图。第十一图系说明在第2提拉装置中,随着保持机构的下降之卡合构件之旋转动作。第十二图系说明第3提拉装置之全体构成例的纵剖面图。第十三图之(a)及(b)系说明种结晶夹持具之构造例的纵剖面图;(a)系表示单结晶之重量在基准値以下之情况,(b)系表示单结晶之重量在基准値以上之情况下,种结晶夹持具拉伸后之图。 |
