发明名称 测试头用温度控制系统
摘要 一种有效的温度控制系统,包含一热电冷却模组,其以可逆地被附装于将被冷却之装置。该冷却模组之电源被耦合于热感应器之回馈控制器所控制。此用于温度监控之热感应器亦适用于可逆地被附装于将被冷却之装置。该冷却模组包含一热接头与一冷接头。在作业中,热由冷接头被传送至热接头。一介面板被提供于该冷接头以确保与将被冷却之装置的良好接触。
申请公布号 TW386245 申请公布日期 2000.04.01
申请号 TW087116741 申请日期 1998.10.08
申请人 卓越自动系统有限公司 发明人 黄云
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种热消散系统,用于控制一装置之温度,该系统包含:(a)一电源被耦合一回馈控制器;(b)一热电冷却模组被耦合于该电源,该热电冷却模组具有一冷接头与一热接头;(c)一热转换器被耦合于该热接头;(d)一弹性介面板具有一第一侧面与一第二侧面,该第一侧面适用于附装至该冷接头,该第二侧面适用于与一冷却装置耦合;以及(e)一热感应器被耦合于该回馈控制器,该热感应器适用于盐测一冷却装置之温度;此处该装置之温度可被控制。2.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板为一合成橡胶板。3.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板之热传导性为高于或等于1.7W/m℃。4.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板具有与该冷却模组相同之表面面积。5.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板为一T-Flex板。6.如申请专利范围第5项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该T-Flex板为2mm厚。7.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中一风扇进一步包含提供用于冷却该热转换器。8.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该热感应器为一白金抗热度计。9.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该冷却模组与该热转换器被附装于IC装置所用之测试把手的测试头之套。10.如申请专利范围第9项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该套含有至少一吸杯与一气动设施用于拾取及安放IC装置。11.如申请专利范围第9项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板被置于与该吸杯相邻,且在一将被测试之装置被该吸杯拾取时适用于与该装置直接接触。12.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该装置为一IC装置。13.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该压缩空气被用以冷却该热转换器。14.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该热感应器被附装于该冷接头。15.如申请专利范围第1项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该额外的金属板被置于该冷接头与该介面板间。16.如申请专利范围第15项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该热感应器被附装于该金属板。17.如申请专利范围第3项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板为2mm厚。18.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板具有与该冷却模组相同之表面面积。19.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该介面板为一T-Flex板。20.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中一风扇被进一步提供用于冷却该热转换器。21.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该热感应器为一白金抗热度计。22.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该冷却模组与该热转换器被附装于IC装置所用之测试把手的测试头之套。23.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该装置为一IC装置。24.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该压缩空气被用以冷却该热转换器。25.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该热感应器被附装于该冷接头。26.如申请专利范围第2项所述之热消散系统,用于控制一装置之温度,其中该额外的金属板被置于该冷接头与该介面板间。图式简单说明:第一图为依据本发明一实施例之套的侧面横截面图。第二图为依据本发明一实施例之温度控制系统的电气电路图。第三图B显示在第三图A之无温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第四图B显示在第四图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第五图B显示在第五图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第六图B显示在第六图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第七图B显示在第七图A之有温度控制时实验条件与电方输入下DUT的温度变化。第八图B显示在第八图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第九图B显示在第九图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化。第十图B显示在第十图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化,且有铝板被提供于该DUT与该冷却模组间。第十一图B显示在第十一图A之有温度控制时实验条件与电力输入下DUT的温度变化,且有合成橡胶板被提供于该DUT与该冷却模组间。
地址 新加坡